La largeur moyenne des éléments RSm est la moyenne arithmétique des largeurs des éléments du profil R, calculée à l’intérieur d’une longueur de base. Un élément de profil est constitué par une saillie et un creux de profil adjacent.

La pente quadratique moyenne RΔq est la moyenne quadratique des pentes locales dZ/dX du profil, à l’intérieur d’une longueur de base.

Les pentes locales sont calculées avec une fonction d’aplanissement destiné à limiter les influences du bruit.