真实的表面 将实体从周围介质中区分出来 (EN ISO 4287)

测针 可以扫描二维表面，测针以恒定的速度经过曲面法线 (EN ISO 3274)

扫描轮廓 是利用测针工具得到的包络轮廓，扫描轮廓包 括形状偏差，波纹度以及粗糙度几部分 (EN ISO 3274, DIN 4760)

参数 通常是根据采样长度来定义的。一个参数的平均值 是通过所有采样长度的参数估计的算术平均值。对于粗 糙度轮廓来说，标准的采样长度数量是5个。对于曲线以及 相关参数（例如材料率），计算参数值的基础是评价长度 (EN ISO 4288)

扫描长度 lt 是测针获得扫描轮廓是移动的总长度。它是预 行程，评价长度 ln，以及后行程的总和。

轮廓滤波器的截至波长 λc 决定了那些波长属于粗糙度， 以及哪些波长属于波纹度。

取样长度 lr 是粗糙度评价的参考，它的长度等于截至波长 λc.取样长度lp 以及 lw 相应地是P轮廓和W轮廓评价的参考 长度。

评价长度ln 是决定表面参数的那段扫描长度。标准的粗糙 度评价长度包括5段连续的采样长度。

预行程 是扫描长度的第一部分。

过行程 是扫描长度的最后一部分。预行程和过行程对于 相位纠正滤波来说是必要的。