Wirkliche Oberfläche (Werkstückoberfläche) trennt einen Körper von seiner Umgebung. (DIN EN ISO 4287)

Tastschnittverfahren ist eine messtechnische Methode zur zweidimensionalen Erfassung einer Oberfläche: Eine Vorschubeinrichtung bewegt ein Tastsystem mit konstanter Geschwindigkeit horizontal über die Oberfläche. (DIN EN ISO 3274)

Ertastetes Profil ist das nach dem Tastschnittverfahren erfasste Hüllprofil der wirklichen Oberfläche. Es enthält als wichtigste Gestaltabweichungen: Formabweichungen, Welligkeit und Rauheit. (DIN EN ISO 3274, DIN 4760)

Kenngrößen werden, falls nicht anders angegeben, an einer Einzelmessstrecke definiert. Ergebnisse werden als Mittelwerte aus mehreren Einzelmessstrecken berechnet. Für Rauheitskenngrößen sind fünf Einzelmessstrecken Standard. Bei Kennkurven und zugehörigen Kennwerten (z.B. Materialanteil) werden die Messdaten der Gesamtmessstrecke zugrunde gelegt. (DIN EN ISO 4288)

Taststrecke lt ist die Strecke, die das Tastsystem zur Erfassung des ertasteten Profils insgesamt zurücklegt. Sie ist die Summe aus Vorlaufstrecke, Gesamtmessstrecke ln und Nachlaufstrecke.

Grenzwellenlänge λc eines Profilfilters legt fest, welche Wellenlängen der Rauheit und welche der Welligkeit zugeordnet werden.

Einzelmessstrecke lr für die Rauheit ist ein Teil der Taststrecke lt mit der Länge der Grenzwellenlänge λc. Die Einzelmessstrecke lp bzw. lw für das P-Profil bzw. W-Profil ist gleich der Messstrecke und ist die Bezugsstrecke für die Auswertung.

(Gesamt-)Messstrecke ln ist derjenige Teil der Taststrecke, der ausgewertet wird. Sie umfasst im Standardfall für Rauheitsauswertung fünf aneinander gereihte Einzelmessstrecken lr.

Vorlaufstrecke dient zum Einschwingen der Filter.

Nachlaufstrecke dient zum Ausschwingen der Filter.